言語	ラベル	説明	別名
日本語	リソグラフィー
英語	lithography

言語	日本語
ラベル	リソグラフィー
説明
別名

言語	英語
ラベル	lithography
説明
別名

関連語彙

上位語

Q461: 機械的・表面

同階層:

• Q462: ドクターブレード/ブレードコーティング
• Q463: 集束イオンビーム
• Q464: 接合
• Q466: 研磨
• Q467: 切断
• Q468: 熱プラズマ処理
• Q3394: CMP研磨
• Q3395: 基板洗浄
• Q3396: 電極形成
• Q3397: メッキ技術

下位語

• Q3359: エピタキシャル膜形成
• Q3398: レジスト塗布
• Q3399: フォトマスク
• Q3400: 露光
• Q3401: 光露光（マスクアライナ）
• Q3402: 光露光（ステッパ）
• Q3403: 光露光（マスクレス、直接描画）
• Q3404: 電子線描画（EB）
• Q3405: レーザー加工
• Q3406: 現像
• Q3407: ナノインプリント
• Q3412: イオン注入
• Q3413: 酸化
• Q3414: 拡散