DICE材料データ語彙 リソグラフィー 光露光(ステッパ) Q3402: 光露光(ステッパ) 語彙ID https://matvoc.wikibase.cloud/entity/Q3402 言語 ラベル 説明 別名 日本語 光露光(ステッパ) 英語 stepper 言語 日本語 ラベル 光露光(ステッパ) 説明 別名 言語 英語 ラベル stepper 説明 別名 関連語彙 上位語 Q465: リソグラフィー 同階層: Q3359: エピタキシャル膜形成 Q3398: レジスト塗布 Q3401: 光露光(マスクアライナ) Q3403: 光露光(マスクレス、直接描画) Q3404: 電子線描画(EB) Q3405: レーザー加工 Q3399: フォトマスク Q3400: 露光 Q3407: ナノインプリント Q3412: イオン注入 Q3413: 酸化 Q3414: 拡散 Q3406: 現像 関連情報を閉じる