言語	ラベル	説明	別名
日本語	電子線描画（EB）	DICE装置分類
英語	Electron Beam Lithography	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	電子線描画（EB）
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Electron Beam Lithography
説明	DICE instrument classification
別名

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Q2083: リソグラフィ

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