言語	ラベル	説明	別名
日本語	リソグラフィ	DICE装置分類
英語	Lithography	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	リソグラフィ
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Lithography
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1922: 合成・プロセス装置

同階層:

• Q2081: 蒸着・成膜装置
• Q2082: 成形装置
• Q2084: 膜加工・エッチング
• Q2085: その他加工装置
• Q2086: 合成設備

下位語

• Q2242: 光露光（マスクアライナ）
• Q2243: 光露光（ステッパ）
• Q2244: 光露光（マスクレス、直接描画）
• Q2245: 電子線描画（EB）
• Q2246: ナノインプリント