Q2055: 電子線描画（EB）
語彙ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2055
類似項目
| 言語 | ラベル | 説明 | 別名 |
|---|---|---|---|
| 日本語 | 電子線描画（EB） | 先端RI(ARIM)装置分類 | |
| 英語 | Electron Beam Lithography | ARIM instrument classification |
| 言語 | 日本語 |
|---|---|
| ラベル | 電子線描画（EB） |
| 説明 | 先端RI(ARIM)装置分類 |
| 別名 |
| 言語 | 英語 |
|---|---|
| ラベル | Electron Beam Lithography |
| 説明 | ARIM instrument classification |
| 別名 |