言語	ラベル	説明	別名
日本語	光露光（ステッパ）	DICE装置分類
英語	Stepper	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	光露光（ステッパ）
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Stepper
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q2083: リソグラフィ

同階層:

• Q2242: 光露光（マスクアライナ）
• Q2244: 光露光（マスクレス、直接描画）
• Q2245: 電子線描画（EB）
• Q2246: ナノインプリント