Q2244: 光露光（マスクレス、直接描画）
語彙ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2244
| 言語 | ラベル | 説明 | 別名 |
|---|---|---|---|
| 日本語 | 光露光（マスクレス、直接描画） | DICE装置分類 | |
| 英語 | Maskless Exposure System | DICE instrument classification |
| 言語 | 日本語 |
|---|---|
| ラベル | 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 説明 | DICE装置分類 |
| 別名 |
| 言語 | 英語 |
|---|---|
| ラベル | Maskless Exposure System |
| 説明 | DICE instrument classification |
| 別名 |