Q2054: 光露光（マスクレス、直接描画）
語彙ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2054
| 言語 | ラベル | 説明 | 別名 |
|---|---|---|---|
| 日本語 | 光露光（マスクレス、直接描画） | 先端RI(ARIM)装置分類 | |
| 英語 | Maskless Exposure System | ARIM instrument classification |
| 言語 | 日本語 |
|---|---|
| ラベル | 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 説明 | 先端RI(ARIM)装置分類 |
| 別名 |
| 言語 | 英語 |
|---|---|
| ラベル | Maskless Exposure System |
| 説明 | ARIM instrument classification |
| 別名 |