言語	ラベル	説明	別名
日本語	膜加工・エッチング	DICE装置分類
英語	Etching	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	膜加工・エッチング
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Etching
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1922: 合成・プロセス装置

同階層:

• Q2081: 蒸着・成膜装置
• Q2082: 成形装置
• Q2083: リソグラフィ
• Q2085: その他加工装置
• Q2086: 合成設備

下位語

• Q2247: ドライエッチング（RIE）
• Q2248: ドライエッチング（ECR）
• Q2249: ドライエッチング（その他）
• Q2250: ウェット／ガスエッチング
• Q2251: レーザー加工