言語	ラベル	説明	別名
日本語	膜加工・エッチング	先端RI(ARIM)装置分類
英語	Etching	ARIM instrument classification

言語	日本語
ラベル	膜加工・エッチング
説明	先端RI(ARIM)装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Etching
説明	ARIM instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1914: 合成・プロセス装置

同階層:

• Q1905: 蒸着・成膜装置
• Q1916: 成形装置
• Q1917: リソグラフィ
• Q1919: その他加工装置
• Q1920: 合成設備

下位語

• Q2057: ドライエッチング（RIE）
• Q2059: ドライエッチング（ECR）
• Q2060: ドライエッチング（その他）
• Q2061: ウェット／ガスエッチング
• Q2062: レーザー加工