言語	ラベル	説明	別名
日本語	ウェット／ガスエッチング	DICE装置分類
英語	Wet Etching/Gas Etching	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	ウェット／ガスエッチング
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Wet Etching/Gas Etching
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q2084: 膜加工・エッチング

同階層:

• Q2247: ドライエッチング（RIE）
• Q2248: ドライエッチング（ECR）
• Q2249: ドライエッチング（その他）
• Q2251: レーザー加工