Q2247: ドライエッチング（RIE）
語彙ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2247
類似項目
| 言語 | ラベル | 説明 | 別名 |
|---|---|---|---|
| 日本語 | ドライエッチング（RIE） | DICE装置分類 | RIE |
| 英語 | Dry Etching(Reactive Ion Etching) | DICE instrument classification | RIE |
| 言語 | 日本語 |
|---|---|
| ラベル | ドライエッチング（RIE） |
| 説明 | DICE装置分類 |
| 別名 | RIE |
| 言語 | 英語 |
|---|---|
| ラベル | Dry Etching(Reactive Ion Etching) |
| 説明 | DICE instrument classification |
| 別名 | RIE |