言語	ラベル	説明	別名
日本語	ドライエッチング（その他）	DICE装置分類
英語	Dry Etching(Others)	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	ドライエッチング（その他）
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Dry Etching(Others)
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q2084: 膜加工・エッチング

同階層:

• Q2247: ドライエッチング（RIE）
• Q2248: ドライエッチング（ECR）
• Q2250: ウェット／ガスエッチング
• Q2251: レーザー加工