言語	ラベル	説明	別名
日本語	光露光（ステッパ）	先端RI(ARIM)装置分類
英語	Stepper	ARIM instrument classification

言語	日本語
ラベル	光露光（ステッパ）
説明	先端RI(ARIM)装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Stepper
説明	ARIM instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1917: リソグラフィ

同階層:

• Q2052: 光露光（マスクアライナ）
• Q2054: 光露光（マスクレス、直接描画）
• Q2055: 電子線描画（EB）
• Q2056: ナノインプリント