Q2247: Dry Etching(Reactive Ion Etching)
Vocabulary ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2247
| Language | Label | Description | Alias |
|---|---|---|---|
| English | Dry Etching(Reactive Ion Etching) | DICE instrument classification | RIE |
| Japanese | ドライエッチング（RIE） | DICE装置分類 | RIE |
| Language | English |
|---|---|
| Label | Dry Etching(Reactive Ion Etching) |
| Description | DICE instrument classification |
| Alias | RIE |
| Language | Japanese |
|---|---|
| Label | ドライエッチング（RIE） |
| Description | DICE装置分類 |
| Alias | RIE |