言語	ラベル	説明	別名
日本語	酸化	先端RI(ARIM)装置分類
英語	Oxidization System	ARIM instrument classification

言語	日本語
ラベル	酸化
説明	先端RI(ARIM)装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Oxidization System
説明	ARIM instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1919: その他加工装置

同階層:

• Q2066: 接合
• Q2064: 拡散
• Q2065: イオン注入
• Q2067: レジスト塗布
• Q2068: 現像装置