言語	ラベル	説明	別名
日本語	酸化	DICE装置分類
英語	Oxidization System	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	酸化
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Oxidization System
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q2085: その他加工装置

同階層:

• Q2253: 拡散
• Q2254: イオン注入
• Q2255: 接合
• Q2256: レジスト塗布
• Q2257: 現像装置