言語	ラベル	説明	別名
日本語	現像装置	先端RI(ARIM)装置分類
英語	Photoresist Developer	ARIM instrument classification

言語	日本語
ラベル	現像装置
説明	先端RI(ARIM)装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Photoresist Developer
説明	ARIM instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q1919: その他加工装置

同階層:

• Q2066: 接合
• Q2063: 酸化
• Q2064: 拡散
• Q2065: イオン注入
• Q2067: レジスト塗布