Q2059: ドライエッチング（ECR）
語彙ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2059
類似項目
| 言語 | ラベル | 説明 | 別名 |
|---|---|---|---|
| 日本語 | ドライエッチング（ECR） | 先端RI(ARIM)装置分類 | ECR-RIE |
| 英語 | Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE) | ARIM instrument classification | ECR-RIE |
| 言語 | 日本語 |
|---|---|
| ラベル | ドライエッチング（ECR） |
| 説明 | 先端RI(ARIM)装置分類 |
| 別名 | ECR-RIE |
| 言語 | 英語 |
|---|---|
| ラベル | Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE) |
| 説明 | ARIM instrument classification |
| 別名 | ECR-RIE |