Q2059: Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE)
Vocabulary ID
http://matvoc.nims.go.jp/entity/Q2059
| Language | Label | Description | Alias |
|---|---|---|---|
| English | Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE) | ARIM instrument classification | ECR-RIE |
| Japanese | ドライエッチング（ECR） | 先端RI(ARIM)装置分類 | ECR-RIE |
| Language | English |
|---|---|
| Label | Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE) |
| Description | ARIM instrument classification |
| Alias | ECR-RIE |
| Language | Japanese |
|---|---|
| Label | ドライエッチング（ECR） |
| Description | 先端RI(ARIM)装置分類 |
| Alias | ECR-RIE |