言語	ラベル	説明	別名
日本語	ドライエッチング（ECR）
英語	dry etching(Electron Cycrotron Resonance)

言語	日本語
ラベル	ドライエッチング（ECR）
説明
別名

言語	英語
ラベル	dry etching(Electron Cycrotron Resonance)
説明
別名

関連語彙

上位語

Q488: 溶解/エッチング

同階層:

• Q3408: ドライエッチング（RIE）
• Q3410: ドライエッチング（その他）
• Q3411: ウェットエッチング