言語	ラベル	説明	別名
日本語	コーター	DICE装置分類
英語	Coater	DICE instrument classification

言語	日本語
ラベル	コーター
説明	DICE装置分類
別名

言語	英語
ラベル	Coater
説明	DICE instrument classification
別名

関連語彙

上位語

Q2081: 蒸着・成膜装置

同階層:

• Q2225: 原子層堆積(ALD)装置
• Q2227: 化学蒸着(CVD)装置
• Q2228: 電着装置
• Q2229: 物理蒸着(PVD)装置
• Q2230: インクジェット堆積装置
• Q2231: ラングミュア - ブロジェット膜堆積装置
• Q2232: プラズマ溶射装置
• Q2233: スッパタリング（スパッタ）