Language	Label	Description	Alias
English	Dry Etching(Others)	DICE instrument classification
Japanese	ドライエッチング（その他）	DICE装置分類

Language	English
Label	Dry Etching(Others)
Description	DICE instrument classification
Alias

Language	Japanese
Label	ドライエッチング（その他）
Description	DICE装置分類
Alias

Semantic Relatives

Parent

Q2084: Etching

Siblings:

• Q2247: Dry Etching(Reactive Ion Etching)
• Q2248: Dry Etching(Electron Cyclotron Resonance-RIE)
• Q2250: Wet Etching/Gas Etching
• Q2251: Laser Processing